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film膜厚测试仪
【产品名称】film膜厚测试仪
【所属类别】光学膜厚测试仪
【产品人气】3413
【更新日期】2017/2/22 13:13:43
详细介绍


film膜厚测试仪

film膜厚测试仪

应用介绍


film膜厚测试仪应用在透明及半透明材料的厚度或涂层的测量,包括半导体镀膜,光刻胶,玻璃减反膜测量,蓝宝石镀膜,ITO玻璃,太阳能镀膜玻璃,各种衬底上的膜厚,膜的颜色测量,卷对卷柔性涂布,其他需要测量膜厚的场合等,无论有无底材或者底材是何种材料均无影响。应用在精密半导体wafer,ITO玻璃,fpcpcb膜厚,材料表面光学镀膜,电镀阳极处理,UV胶厚等领域。


系统结构:

产品型号

A3-ST-100

A3-SR-100

A3-ST-200

A3-SR-200

A3-ST-300

A3-SR-300

 

产品尺寸

 

W270*D217*H90

测试支架

(可根据客户需求调整)

W270*D217*H90

测试支架

(可根据客户需求调整)

W270*D217*H90+H140

测试支架

(可根据客户需求调整)

W270*D217*H90+H140

测试支架

(可根据客户需求调整)

W270*D217*H90

测试支架

(可根据客户需求调整)

W270*D217*H90

测试支架

(可根据客户需求调整)

测试方式

可见光(VIS )

透射(T)

可见光VIS

反射(R)

紫外+可见UV+VIS

透射(T)

紫外+可见+UV+VIS

反射(R)

IR

透射(T)

IR

反射(R)

波长范围

380 - 780 nm

380 - 780 nm

250 - 1000 nm

250 - 1000 nm

900 - 1200 nm

900 - 1200 nm

光源

钨卤素灯

钨卤素灯

钨卤素灯+氘灯

钨卤素灯+氘灯

钨卤素灯

钨卤素灯

光路和传感器

光纤式(FILBER )+进口光谱仪

入射角

0 (垂直入射)  (0 DEGREE)

参考光样品

硅片

光斑大小

LIGHT SPOT

About 1 mm(标配,可以根据用户要求配置)

样品大小

SAMPLE SIZE

10 mm TO 300 mm (可以根据用户要求配置)


光学测量技术参数(OPTICAL SPECIFICATION


测试方式

反射, 透射

透射准确性

Transmission Accuracy

1%

反射准确性

Reflaction Accuracy

1%

精度


0.1%


膜厚测量性能指标(THICKNESS SPECIFICATION):


产品型号

A3-SR-100

A3-SR-200

A3-SR-300

厚度测量1

Thickness

15 nm - 100 um

 

2nm - 200 um

500nm-1000um

折射率1(厚度要求)

N

100 nm 以上

50nm and up

 ---------------

准确性2

Accuracy

 2 nm 0. 5%

精度3

precision

0.1 nm

1表内为典型数值, 实际上材料和待测结构也会影响性能

2 使用硅片上的二氧化硅测量,实际上材料和待测结构也会影响性能

3 使用硅片上的二氧化硅(500纳米)测量30次得出的1阶标准均方差,每次测量小于1。


软件(SOFTWARE)


检测项目

标准型

层数

10

材料

表格型和函数型

粗糙度模型

反射/透射

反射型+透射型

材料库

表格型+函数型

入射角

垂直入射

折射率测量


售后服务(GARANTEE AND ASERVICE):

 基本服务

1年免费软件升级

1年材料库更新

1年免费失效零件更换(灯泡,光纤,硅片除外)




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端子截面分析仪
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